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研究分野（Research Fields）
精密工学
（Precision Engineering）
ナノ材料工学
（Nanomaterials Engineering）
ナノスケール光工学
（Nanoscale Optical Engineering） -
キーワード（Keywords）
フラーレン（Fullerene）
カーボンナノチューブ
（Carbon Nanotube）
特殊加工
（Special Processing）
ポリシング
（Chemical Mechanical Polishing）
レーザ光（Laser）
光応用（Applied Optics）
可視化（Visualization） -
研究テーマ（Subjects）
ナノマイクロ加工
（Nano/Micro Processing）
ナノカーボン応用
（Nano Carbon Applications）
ナノスケール実時間三次元観測
（4D Observation in Nanoscale）
研究概要
本研究室では半導体や自動車，工作機械などの幅広い工業分野のニーズに応えるため，ナノ・マイクロ加工技術やナノカーボン応用技術，ナノスケール実時間三次元観測，そして超伝導などを用いた特殊生産加工技術に関する研究を行なっております．ここでは材料科学や精密加工学，計測工学に関する多様な学術分野を融合させるすることにより，"革新的ものづくり"をキーワードに新規加工・計測技術の創出を目指します．
主な研究分野
- シリコン・パワー半導体におけるCMPに関する研究
- フラーレン複合型スマート研磨微粒子を中心とした研磨微粒子設計に関する研究
- マイクロパターンパッドに関する研究
- 超伝導援用による磁気浮上中空加工技術に関する研究
- 音波援用加工法に関する研究
- 光計測による CMP モニタリング手法に関する研究
新着情報
| 精密工学会誌 2022年6月88巻6号 通巻 1050号に掲載されました 「タイトル難加工技術における現状と課題」 鈴木 恵友 NEW |
| 新四年生の研究発表会を行いました. |
| Aran Blatter（D3）の博士後期課程公聴会が行われました. |
| Bakierさん（D3）とTsai ue-shunさん（D3）が、8th international Symposium on Applied Engineering and Sciences SAES2020) Virtual Conference /December 12th-19thで発表しました． |
| Thitipa（D1）さんが、18th International Conference on Precision Engineering（ICPE2020）.Nov.23(Mon.)-27(Fri.)2020 Kobe , Japanで発表しました． |
| コーヒーブレイクを更新しました． |
| コーヒーブレイクを更新しました． |
| ホームページをリニューアルしました． |
| 吉本君が琉球大学工学部で開催された日本機械学会九州学生会 第４８回学生員卒業研究発表講演会にて発表を行いました． |
Address
九州工業大学 飯塚キャンパス
〒820-8502 福岡県飯塚市川津680-4
Kyushu Institute of Technology, Iizuka campus
680-4 Kawazu Iizuka-shi, Fukuoka JAPAN 820-8502